La tecnologia di microlavorazione è un processo molto flessibile, in grado di produrre micro componenti con forme complesse. Inoltre, può essere applicato su un'ampia gamma di materiali. La sua adattabilità lo rende particolarmente adatto per operazioni rapide dall'idea al prototipo, produzione di strutture 3D complesse e progettazione e sviluppo iterativi di prodotti,
1. Tecnologia di microlavorazione fisica
Lavorazione del raggio laser: processo di lavorazione che utilizza l'energia termica guidata dal raggio laser per rimuovere materiali da superfici metalliche o non. È più adatto per materiali fragili con bassa conduttività, ma può essere utilizzato per la maggior parte dei materiali.
Elaborazione a fascio ionico: un'importante tecnologia di produzione non convenzionale per la produzione micro/nano. Utilizza il flusso ionico accelerato nella camera a vuoto per rimuovere, aggiungere o modificare gli atomi sulla superficie dell'oggetto.
2. Tecnologia di microlavorazione chimica
Attacco ionico reattivo (RIE): un processo al plasma in cui le sostanze vengono eccitate da una scarica RF per incidere substrati o film in una camera a bassa tensione. È un processo sinergico di sostanze chimiche attive e di bombardamento ionico ad alta energia.
Lavorazione elettrochimica (ECM): un metodo per rimuovere i metalli mediante processi elettrochimici. Di solito viene utilizzato per la produzione e la lavorazione su larga scala di materiali estremamente duri o difficili da lavorare con i metodi tradizionali. Il suo utilizzo è limitato ai materiali conduttivi. ECM può tagliare angoli piccoli o irregolari, contorni complessi o cavità in metalli duri e rari.
3. Tecnologia di microlavorazione meccanica
Tornitura diamantata: il processo di tornitura o lavorazione di componenti di precisione con un tornio o una macchina derivata dotata di punta diamantata naturale o sintetica.
Fresatura diamantata: un processo di taglio che può essere utilizzato per generare una matrice di lenti asferiche mediante taglio circolare utilizzando un utensile diamantato sferico.
Rettifica di precisione: una lavorazione abrasiva che consente di lavorare il pezzo in una finitura superficiale fine e una tolleranza molto stretta di 0.0001 ".
Lucidatura: una lavorazione abrasiva, la lucidatura del fascio di ioni di argon è un processo abbastanza stabile, che viene utilizzato per la finitura degli specchi dei telescopi e la correzione degli errori residui di lucidatura meccanica o di dispositivi ottici diamantati. Il processo MRF è il primo processo di lucidatura deterministico. Commercializzato e utilizzato nella produzione di lenti asferiche, riflettori, ecc.
